Cuno BetaPure CMP

3M Betapure CMP Série filtre

3M ™ Betapure ™ CMP cartouches et capsules filtres, anciennement connu sous le nom CUNO Optima CMP, sont des filtres de fond à haute capacité optimisée pour les boues d'oxyde et de métal utilisés dans planarisation mécano-chimique (CMP) demandes.
Filtres Betapure CMP sont constitués de composants tous de polypropylène et dispose d'un multi-zone "gradedporosity« conception pour le niveau optimal de classification des particules.
Cette construction offre une meilleure caractéristiques de fl ux, y compris une faible perte de pression afin de minimiser le cisaillement de la suspension tout en offrant la vie de service de qualité supérieure.
La filtration de suspensions CMP est un processus difficile, par rapport à la filtration des produits chimiques de haute pureté utilisés dans la fabrication de produits électroniques. Filtration chimique de haute pureté est généralement effectuée à l'aide de 0,2 micron ou plus strictes que les membranes filtrantes ayant un enlèvement de particules de coupure brutale à la taille de pores nominale.
La plupart des suspensions CMP contient une taille de particule moyenne souhaitée qui va de 0,03 à 0,2 microns.
Par conséquent, le filtre qui a été spécialement conçu pour la clarification des particules de produits chimiques de haute pureté priverait les particules désirées et affecter les caractéristiques de polissage de la suspension CMP.

Caractéristiques et avantages

• Enlèvement de contaminants supérieure de gel dur et mou, par défectivité réduite et une amélioration des rendements
• Haute capacité de rétention des contaminants réduit les temps d'arrêt et accroît l'efficacité globale de l'équipement
• Les filtres sont i "adaptés" à la suspension fournir le niveau optimal de performances nécessaires pour réduire considérablement les particules de défauts provoquant
• Fournit une faible perte de pression réduisant le potentiel de l uid cisaillement de la suspension
• Extractibles capsule bas, libre d'adhésifs, de liants et d'agents tensioactifs
• Excellente compatibilité chimique avec des suspensions basses et hautes pH
• ISO système de gestion de la qualité de l'éd certii
• Fabriqués et double emballage dans un environnement propre à fournir la propreté aval supérieure de l'emballage
• Fournit une qualité constante de la suspension permet la répétabilité du processus d'aplanissement
• Installation rapide
• temps d'arrêt réduits
• Réduction de la manipulation de produits chimiques dangereux

Conditions de fonctionnement

• Maximum Température de fonctionnement 120 ° C (250 ° F)
• Pression maximale différentiel de 4,8 bar (70 psi)

Applications typiques

• semi-conducteur
• Le stockage des données
• La transmission de données
• Le composé semi-conducteur

Les données peuvent être sujets à changement sans préavis.